半導体用 排ガス処理装置

半導体工場向けで使われる、日本パイオニクス製の排ガス処理装置を供給致します。

  • シンプルなフロー設計と、極めて高い処理能力を誇るパイオクリンカートリッジの組合せにより、経済的かつ、安全に有毒ガスを除害することが出来ます。
  • ガス検知器などのオプションを取付けることにより、安全性を高めることが出来ます。
  • 2筒式の場合は、カートリッジ交換時の装置ダウンタイムが低減出来ます。

お客様の使用されるガスに応じて最適な装置を提案致します。