ドライアイススノー精密洗浄システム「QuickSnow」は、液化炭酸ガスからドライアイス微粒子を生成し、これを高速で洗浄対象物に衝突させることで、精密部品や基板表面の有機物やパーティクルを除去します。

QuickSnowは乾式洗浄装置のため、従来方式の薬液洗浄や湿式洗浄のような薬液汚染や洗浄痕、液面張力による対象物の破壊といったリスクが無いことが大きな特長です。また、エアブローでは除去が難しい微粒子にも極めて良好に対応できるなど、ミクロンオーダーの異物に対して効果的な洗浄を、ドライプロセスで提供します。

用途・洗浄対象物：半導体デバイス（CMOS、イメージセンサー）、電子部品（HDD関連部品）、FPD部品（ガラス基板、有機EL基板など）、光学部品（光ファイバー、カメラレンズなど）、フィルム製造（製造装置ローラー、高機能フィルムなど）